特許
J-GLOBAL ID：200903021905872977
反応炉内部の残留ハロゲン除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-043524
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243163
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】残留ハロゲンが効率的に除去され、除去のムラがなくなる。【構成】ハロゲン元素を含む成膜用ガス又はエッチング用ガスが導入された反応炉に50°C以上に加熱された空気又は不活性ガスを通過させて残留ハロゲンを除去することを特徴とする。【効果】50°C以上に加熱された空気又は不活性ガスを反応炉内部を通過させることにより、それが反応炉の内部の隅々にまで行き渡り、その熱により反応炉の各構成部材がほぼ等しく加熱され、しかも、そのガスにより残留ハロゲンが効率的に除去され、これにより、反応炉の各構成部材に付着した残留ハロゲンはムラなく、概ね除去された。
請求項（抜粋）：
ハロゲン元素を含む成膜用ガス又はエッチング用ガスが導入された反応炉に50°C以上に加熱された空気又は不活性ガスを通過させて残留ハロゲンを除去することを特徴とする反応炉内部の残留ハロゲン除去方法。
IPC (2件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
