特許

J-GLOBAL ID：200903021914149161

液体原料気化装置

発明者： 福永 由紀夫 ,  村上 武司 ,  小榑 直明 ,  本郷 明久
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-355576
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235675
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 高誘電体薄膜の素材となる液体原料を効率良く気化するとともに、気化装置内や配管内の詰まりを防止できるようなコンパクトな気化装置を提供する。【解決手段】 互いに対向する内外の筒状壁1,4の少なくとも一方に、流入口10と流出口11につながる螺旋状の流路14を形成する溝13が形成され、筒状壁1,4の少なくとも一方を加熱する加熱手段17が設けられている。

請求項（抜粋）：

互いに対向する内外の筒状壁の少なくとも一方に、流入口と流出口につながる螺旋状の流路を形成する溝が形成され、上記筒状壁の少なくとも一方を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする液体原料気化装置。

IPC (6件)：

C23C 16/44 ,  B01J 7/02 ,  H01B 1/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

FI (5件)：

C23C 16/44 C ,  B01J 7/02 Z ,  H01B 1/00 F ,  H01L 21/205 ,  H01L 27/10 651