積層体の製造方法及び製造装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-275443
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093656
出願日： 2000年09月11日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】真空槽中で周回する支持体上に樹脂材料と金属材料とを交互に積層して樹脂層と金属薄膜層とが交互に積層された積層体を製造する方法において、樹脂層を薄くしても、金属薄膜層にマージン部を安定して形成できる方法を提供する。【解決手段】酸素又はオゾン雰囲気中で、あるいは、被照射部分を加熱しながら、金属薄膜層にレーザ光を照射して金属薄膜層にマージン部を形成する。

請求項（抜粋）：

樹脂層を形成する工程と、金属材料を真空プロセスにより堆積させて金属薄膜層を形成する工程とを有し、これらを周回する支持体上で繰り返し行うことにより前記支持体上に樹脂層と金属薄膜層とを含む積層体を製造する方法であって、更に、酸素又はオゾン雰囲気中でレーザ光を照射して前記金属薄膜層にマージン部を形成する工程を有することを特徴とする積層体の製造方法。

IPC (8件)：

H01G 4/30 311 , H01G 4/30 , B23K 26/00 , B23K 26/12 , B29C 41/20 , H01G 4/18 324 , B29K101:00 , B29K105:22

FI (8件)：

H01G 4/30 311 D , H01G 4/30 311 F , B23K 26/00 H , B23K 26/12 , B29C 41/20 , H01G 4/18 324 A , B29K101:00 , B29K105:22

Fターム (47件)：

4E068CJ02 , 4E068CJ04 , 4E068DA09 , 4E068DB01 , 4E068DB14 , 4F205AD03 , 4F205AD05 , 4F205AG03 , 4F205AK03 , 4F205AM28 , 4F205AM30 , 4F205AR06 , 4F205GB01 , 4F205GB11 , 4F205GF01 , 4F205GF05 , 4F205GF23 , 4F205GF25 , 4F205GF30 , 4F205GN01 , 4F205GN13 , 4F205GW06 , 4F205GW34 , 5E082AA01 , 5E082AB03 , 5E082BC35 , 5E082BC36 , 5E082BC39 , 5E082EE05 , 5E082EE11 , 5E082EE22 , 5E082EE37 , 5E082EE47 , 5E082FF05 , 5E082FG03 , 5E082FG34 , 5E082FG37 , 5E082FG42 , 5E082FG51 , 5E082JJ01 , 5E082JJ15 , 5E082KK01 , 5E082LL02 , 5E082LL03 , 5E082MM05 , 5E082MM23 , 5E082PP06

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