特許
J-GLOBAL ID：200903021939508018
干渉計、及び形状測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-233816
公開番号（公開出願番号）：特開2009-063537
出願日： 2007年09月10日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】光強度が変動するような場合でも高精度に測定できる干渉計及び形状測定方法を提供する。【解決手段】干渉計は、光源101と、光源101からの光を測定対象物Wに照射する測定光と参照面に照射する参照光とに分割し、それらの光を合成するビームスプリッタ105と、参照面107は、参照光の一部を第1の輝度とすると共に参照光の一部を除く参照光を第1の輝度よりも高い第2の輝度とするコーティング107bが表面になされている。さらに、干渉計は、第2の輝度とした参照光と干渉しない非干渉領域を形成するように測定光を遮光する遮光部材106と、合成光により形成される干渉領域及び非干渉領域を撮像するCCDカメラ111とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源と、
該光源からの光束の一部を参照面に照射する参照光とし、残りの光束を被検面に照射する測定光とするための第1の光束分割手段と、
前記参照光及び前記測定光を重ね合わせた光束により形成される干渉領域及び前記参照光または前記測定光のいずれか一方により形成される非干渉領域を撮像する撮像手段と
を備える干渉計であって、
前記参照光の一部を第1の輝度にて反射すると共に前記参照光の一部を除く参照光又は前記測定光の一部を前記第1の輝度よりも高い第2の輝度にて反射する光輝度変換手段と、
前記撮像手段上に前記干渉領域及び前記非干渉領域を形成するため、前記第1の輝度にて反射された参照光に干渉し、前記第2の輝度にて反射された参照光又は測定光に干渉しないように前記測定光の一部を遮光する第1の遮光手段と
を備えることを特徴とする干渉計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (26件)：
2F064AA09
, 2F064CC01
, 2F064EE02
, 2F064GG00
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG38
, 2F064GG44
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F065AA53
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL34
, 2F065LL36
