スポットサイズ変換コア構造を有する光導波路及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-007897
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206352
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】波長に依存せず低損失にファイバと接続でき、しかもプロセストレランスが大きいスポットサイズ変換コア構造を有する光導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板5上にコア4、6、7を火炎堆積法により成膜するとき、屈折率が大きいコア6、屈折率及び高さを変化させたコア4、ファイバと低損失に接続できるコア高さ及び屈折率を有するコア7を一括して形成し、そのコア4、6、7をエッチングにより屈折率及び高さを変化させたコア4の形状をテーパ状6に形成し、屈折率の高いコア6の形状を直線または曲線に形成し、ファイバと接続するコア7は直線状に加工してスポットサイズを変換するコア構造4を形成することにより、波長に依存せず低損失でファイバと接続でき、しかもプロセストレランスが大きいスポットサイズ変換コア構造の光導波路が得られる。

請求項（抜粋）：

直線導波路コアと、該直線導波路コアより幅及び高さが小さく比屈折率差が大きい他の直線導波路コアと、両端が両直線導波路に結合され徐々にコア幅、コア高さ及びコアの屈折率が変化するテーパ導波路とを備えたことを特徴とするスポットサイズ変換コア構造を有する光導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/122 , G02B 6/30

FI (2件)：

G02B 6/12 A , G02B 6/30

Fターム (11件)：

2H037AA01 , 2H037BA31 , 2H037CA34 , 2H047KA04 , 2H047KA13 , 2H047MA05 , 2H047PA01 , 2H047PA21 , 2H047PA24 , 2H047QA04 , 2H047TA32

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-012612
特開平3-012612
特開平3-012612

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