特許

J-GLOBAL ID：200903021954844148

電子部品の評価装置

発明者： 臼井 俊一 ,  杉本 和男
出願人/特許権者： 松阪システム開発株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-170105
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327688
出願日： 1995年06月01日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 電子部品の評価において、多数個の被試験電子部品(以下DUTという)に熱的、湿的及び電気的ストレスを印加し、これらのストレスによるDUTの特性変化を計測する際、特性の変動が生じた前後の特性データを自動的に取り出し、効果的、かつ綿密にDUTの電気的特性変化解析を行う装置。【構成】 ストレス印加部としてストレス電源部(SSS)、チャンバー(CH)。計測及び制御部として計測器(M)、コンピューター(CON)、メモリー(RAM、RG)、ソフトウエア(SW)、入出力装置(I/O)、精密時計(TM)、温度計(TA)で構成される。

請求項（抜粋）：

多数個の被試験電子部品(以下DUTという)に熱的、湿的なストレスを与え、併せてDUT個々には電気的ストレスを印加し、これらストレス印加によるDUT毎の特性変化を連続計測して、その特性値を指定した時間内記録を行い、前記指定時間を越えると、新しい特性値を記録する毎に、一番古い特性値の記録を消去する構成のメモリ部を用意し、一方指定された基準値とDUT個々の特性値との比較判定を常時行い、その結果によって、DUT毎に用意している前記メモリ部を操作して、前記判定時刻以後の特性値の消去を停止させ、一方別に用意したメモリ部に、前記判定後の特性値を指定時間記録する事で、前記判定時刻前後の特性値を連続的に記録する事が出来、DUTの電気的特性変化解析を綿密に出来ることを特徴とする電子部品評価装置。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  G01R 31/00 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 H ,  G01R 31/00 ,  H01L 21/66 H