レーザビームの焦点掃引装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田吉隆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-554106
公開番号（公開出願番号）：特表2003-524802
出願日： 2001年01月16日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：

【要約】【課題】ビームを動かすことなく焦点距離を変更することによって、レーザビームの焦点の軌跡を掃引する。【解決手段】レーザ(1)ビーム(2)を、減圧回路または静電気力により制御された曲率可変な鏡(3)に照射して焦点距離を調整する。したがって、回転するが変形しない鏡などの通常の手段では変位できない方向に焦点(4)を変位させることができる。

請求項（抜粋）：

レーザビームの焦点を掃引するための装置で、ビーム(2)が照射されまた反対に焦点(4)からの反射を受ける引き伸ばされた柔軟な膜(3)と、膜の曲率を変化させる調整手段と、膜を冷却する手段とを備えた装置であって、前記曲率変化手段は膜全体に分散して圧力をかけるための手段と膜の一点に集中する圧力をかける手段の二つからなり、分散する圧力をかける手段は膜で画定される密閉チャンバ(8)内の圧力を変化させるための手段(14)であり、集中する圧力をかける手段は膜の中心部分に隣接している電極(15)と膜(3)の間にある直流電圧発生器(17)を含む電気回路(16)であることを特徴とする装置。

Fターム (9件)：

2H041AA07 , 2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AB38 , 2H041AC02 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08

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