特許
J-GLOBAL ID：200903021970685432
位相差顕微鏡及び重ね合わせ測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194978
公開番号（公開出願番号）：特開2000-010013
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】高いコントラストが得られると共に十分な光量を確保することができる位相差顕微鏡を提供する。【解決手段】物体WMを照明し、透光部12aと遮光部12bとからなる照明開口絞り12を有する照明光学系と、物体を透過し又は反射した光束を集光して物体の像を形成し、照明開口絞り12と共役な位置に位相差付与部材23を有する結像光学系とを備え、位相差付与部材23は、照明開口絞りの透光部12aと共役な第1領域23aと遮光部12bと共役な第2領域23bとを有し、第1領域23aを通過する光束と第2領域23bを通過する光束との間に位相差を付与するように形成された位相差顕微鏡において、照明開口絞り12の透光部12aが多重輪帯状となるように、透光部12aと遮光部12bとを半径方向交互に配置し、位相差付与部材の第1領域23aと第2領域23bとを半径方向交互に配置した。
請求項（抜粋）：
被検物体を照明し、透光部と遮光部とからなる照明開口絞りを有する照明光学系と、前記物体を透過し又は前記物体で反射した光束を集光して前記物体の像を形成し、前記照明開口絞りと実質的に共役な位置に位相差付与部材を有する結像光学系とを備え、前記位相差付与部材は、照明開口絞りの前記透光部と実質的に共役な第1領域と前記遮光部と共役な第2領域とを有し、前記第1領域を通過する前記光束と前記第2領域を通過する前記光束との間に位相差を付与するように形成された位相差顕微鏡において、照明開口絞りの前記透光部が多重輪帯状となるように、前記透光部と遮光部とを半径方向交互に配置し、位相差付与部材の前記第1領域と第2領域とを半径方向交互に配置したことを特徴とする位相差顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H052AA03
, 2H052AB14
, 2H052AC10
, 2H052AD35
, 2H052AF02
