特許

J-GLOBAL ID：200903021971098000

透過電子顕微鏡

発明者： 尾吹 友晴
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129584
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323082
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】透過電子顕微鏡に関し、特に電子照射により試料および蛍光板が受けるダメージの軽減と、電子銃のフィラメントライフ保護、および消費電力軽減に関する。【解決手段】主たる構成は、透過電子顕微鏡において、試料へ照射している電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡がある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時に、電子ビーム強度を0あるいは予め設定した任意の電子ビーム強度になるようにバイアス電圧を制御することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

透過電子顕微鏡において、試料へ照射している電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡がある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時に、電子ビーム強度を0あるいは予め設定した任意の電子ビーム強度になるようにバイアス電圧を制御することを特徴とする透過電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/06

FI (2件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/06 A

Fターム (4件)：

5C030BC06 ,  5C030BC07 ,  5C033SS01 ,  5C033SS10