特許

J-GLOBAL ID：200903021974467715

板状ワークの面取り研磨および鏡面研磨方法

発明者： 田原 勝代
出願人/特許権者： 田原 勝代
代理人 (1件)： 土橋 博司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123502
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310479
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】ガラスや水晶等の硬質素材を原料とする板状製品であって、特に水晶振動子用の水晶板のように、従来非常に小さくかつ非常に薄い素材であるため、多数の枚数を一挙に面取り加工することが困難とされていた極小製品用の、面取りされた板状ワークおよびそのための板状ワークの面取り研磨および鏡面研磨方法に関する。【構成】下記工程からなる板状ワークの面取り研磨および鏡面研磨方法。イ)各板状ワークを、中間に介在させた接着剤が均一の厚みを有するよう多数積層する工程。ロ)積層工程で得た積層品を、積層方向の両端で保持する工程。ハ)回転方向が上記積層品の積層方向に対して直角をなす弾性研磨手段により、上記積層品の端面を研磨する工程。ニ)中間の接着剤を剥して板状ワークの単品を得る工程。

請求項（抜粋）：

下記工程からなる板状ワークの面取り研磨および鏡面研磨方法。イ)各板状ワークを、中間に介在させた接着剤が均一の厚みを有するよう多数積層する工程。ロ)積層工程で得た積層品を、積層方向の両端で保持する工程。ハ)回転方向が上記積層品の積層方向に対して直角をなす弾性研磨手段により、上記積層品の端面を研磨する工程。ニ)中間の接着剤を剥して板状ワークの単品を得る工程。

IPC (4件)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 301 ,  B24B 1/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭53-035372
  
• 特開昭63-306866