特許
J-GLOBAL ID：200903021976359235
表面性状測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120748
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310527
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【課題】 表面性状測定において、振動外乱の影響を除去する。【解決手段】 表面性状測定機に、さらに小型の表面性状測定機26を設ける。小型の表面性状測定機26は、検出装置をワーク14に沿って移動させずにワーク14表面に接触させたままにし、ワーク14の振動量を検出する。本体の表面性状測定機は、ワーク14の表面凹凸検出値と小型の表面性状測定機26で検出した振動量に基づいて高精度の測定を行う。
請求項（抜粋）：
検出器を被測定物表面に沿った第1軸方向に相対移動させ、前記被測定物表面の凹凸による前記第1軸方向に垂直な第2軸方向への変位を検出することで、前記第1軸方向の位置の関数として前記凹凸を検出する表面性状測定機であって、前記被測定物の振動を検出する振動検出手段を有し、前記振動に基づいて前記凹凸を検出することを特徴とする表面性状測定機。
Fターム (20件)：
2F069AA57
, 2F069AA60
, 2F069CC06
, 2F069DD09
, 2F069EE03
, 2F069EE22
, 2F069GG01
, 2F069GG11
, 2F069GG58
, 2F069GG59
, 2F069GG62
, 2F069GG63
, 2F069HH04
, 2F069HH30
, 2F069JJ08
, 2F069LL03
, 2F069MM40
, 2F069NN00
, 2F069QQ03
, 2F069QQ10
審査官引用 (2件)
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特開昭59-168304
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特開昭59-168304
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