特許
J-GLOBAL ID:200903021977677427

圧電振動素子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-126509
公開番号(公開出願番号):特開2007-300381
出願日: 2006年04月28日
公開日(公表日): 2007年11月15日
要約:
【課題】 エッチングによる残渣の発生を考慮することなく小型化に対応し、電気的特性の低下を防ぐ。【解決手段】 断面が矩形形状となる二本一対の棒状の振動用腕部とこの振動用腕部の間に接合される基部とで音叉型となる圧電材料からなる圧電振動素子であって、前記振動用腕部が、前記振動用腕部の相対する二つの面上の前記基部から離れた位置に設けられる電極を備え、前記基部の幅が前記腕部の幅よりも狭く形成され、前記振動用腕部と前記基部とが直接接合により接合されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
断面が矩形形状となる二本一対の棒状の振動用腕部とこの振動用腕部の間に接合される基部とで音叉型となる圧電材料からなる圧電振動素子であって、 前記振動用腕部が、 前記振動用腕部の相対する二つの面上の前記基部から離れた位置に設けられる電極を備え、 前記基部の幅が前記腕部の幅よりも狭く形成され、 前記振動用腕部と前記基部とが直接接合により接合されていることを特徴とする圧電振動素子。
IPC (4件):
H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (4件):
H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (5件):
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02
引用特許:
出願人引用 (1件)

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