特許

J-GLOBAL ID：200903021979045355

有機イオン性化合物分析方法及び装置

発明者： 中山 久美子 ,  吉田 孝 ,  森田 正明 ,  酒井 公人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049817
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247948
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 被検気体中の特定の有機イオン性化合物を確実に捕集してその量を容易に分析できる有機イオン性化合物分析方法及び装置を提供すること。また、クリーンルーム内の特定の有機イオン性化合物を確実に捕集してその量を容易に分析できるクリーンルームを提供すること。【構成】 有機イオン性化合物分析装置は、それ自身では蛍光を発しないが、特定の有機イオン性化合物と反応して蛍光を発する蛍光ラベル化剤と、この蛍光ラベル化剤を溶解する溶媒と、この溶媒に溶解された蛍光ラベル化剤の溶液1と被検気体6とを接触させる手段3,7a,7b,11と、この接触後の溶液における蛍光強度を測定して前記被検気体中の特定の有機イオン性化合物の量を分析する手段16,17とを具備する。クリーンルーム4は、前記有機イオン性化合物分析装置を有し、前記被検気体としてクリーンルーム4内に存在する空気6を分析する。

請求項（抜粋）：

それ自身では蛍光を発しないが、特定の有機イオン性化合物と反応して蛍光を発する蛍光ラベル化剤を溶媒に溶解し、この溶解して得られる溶液と被検気体とを接触させ、この接触後の溶液における蛍光強度を測定して被検気体中の前記特定の有機イオン性化合物の量を分析することを特徴とする有機イオン性化合物分析方法。

IPC (3件)：

G01N 21/78 ,  G01N 21/76 ,  G01N 21/77

FI (3件)：

G01N 21/78 C ,  G01N 21/76 ,  G01N 21/77 A