特許
J-GLOBAL ID：200903021981578271

チタン、アルミニウム金属積層膜エッチング液組成物

発明者：
清水 寿和

清水 寿和 について


出願人/特許権者：
関東化学株式会社

関東化学株式会社 について


代理人 (1件)： 葛和 清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-046174
公開番号（公開出願番号）：特開2007-067367
出願日： 2006年02月23日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】 ガラス等の絶縁膜基板、シリコン基板および化合物半導体基板上にスパッタリング法により成膜したチタンまたはチタンを主成分とする合金からなる層と、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金からなる層とを含む金属積層膜を下地の基板等にダメージを与えることなく、さらに、テーパー角度を30〜90度に抑制し、積層膜を一括にエッチング可能なエッチング液組成物の提供。【解決手段】 ふっ素化合物の濃度(ただし、ふっ化水素酸を除く)が0.01〜5質量%、特定の酸化剤の濃度が0.1〜50質量%であるエッチング液組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
ふっ素化合物(ただし、ふっ化水素酸を除く)と酸化剤を含むエッチング液組成物であって、チタンまたはチタンを主成分とする合金からなる層とアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金からなる層とを含む金属積層膜を一括エッチングするのに用いられる、前記エッチング液組成物。
IPC (3件)：
H01L 21/308 ,  C23F 1/20 ,  C23F 1/26
FI (3件)：
H01L21/308 F ,  C23F1/20 ,  C23F1/26
Fターム (12件)：
4K057WB05 ,  4K057WB08 ,  4K057WB15 ,  4K057WE01 ,  4K057WE02 ,  4K057WE25 ,  4K057WE30 ,  4K057WG03 ,  4K057WN01 ,  5F043AA27 ,  5F043BB16 ,  5F043BB18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (1件)

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