被加工物の曲面加工方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210217
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055446
出願日： 1992年08月06日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】マイクロマシン等に使用されるような被加工物の曲面加工を高能率、高品質で行うことができるようにする。【構成】被加工物4の表面に所要のパターンのマスク材3を設け、該マスク材3の開口部10を被加工物4の表面に向かって大きくなるように配設することにより、噴射ノズル5から微粒子を含む固気2相混合噴流2をマスク材3上に高速噴射して、被加工物4の表面に曲面加工をする。

請求項（抜粋）：

噴射ノズルから微粒子を含む固気2相混合噴流を高速噴射して被加工物の表面を曲面加工する方法において、前記被加工物の表面に所要のパターンのマスク材を被着し、該マスク材の開口部を前記被加工物の表面に向かって大きくすることにより、前記固気2相混合噴流を前記マスク材の表面上から高速噴射して前記被加工物の表面に曲面を形成することを特徴とする被加工物の曲面加工方法。

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