特許
J-GLOBAL ID：200903021996130609
3次元計測装置及び3次元計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-210914
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054708
出願日： 1996年08月09日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：
【要約】【課題】 高精度にて高さ情報を計測可能な3次元計測装置を提供する。【解決手段】 走査動作を制御しながら被測定物7の凹凸面7aに光ビームを走査させる光ビーム走査装置(1,2,3,4,5,6)と、上記走査動作により上記凹凸面にて反射した反射光ビームを受光して上記被測定物における凹凸の高さ情報を測定する検出装置(10,11,12,13)と、上記光ビームの上記走査動作の制御時に発生するノイズに起因するノイズ情報が上記検出装置から上記高さ情報として送出されることを防止するように構成した。
請求項（抜粋）：
走査動作を制御しながら被測定物(7)の凹凸面(7a)に光ビームを走査させる光ビーム走査装置(1,2,3,4,5,6)と、上記走査動作により上記凹凸面にて反射した反射光ビームを受光して上記被測定物における凹凸の高さ情報を得る検出装置(10,11,12,13)とを備えた3次元計測装置であって、上記光ビーム走査装置における上記光ビームの上記走査動作の制御時に発生するノイズに起因するノイズ情報を除いて上記検出装置から上記高さ情報を送出することを特徴とする3次元計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 C
, G01B 11/02 Z
