照明装置およびこの照明装置を備えた座標測定器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-198939
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139673
出願日： 2001年06月29日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】従来のものよりも著しく広いイメージフィールドを均一に照射する照明装置であって、光損失がわずかであり、照射されるイメージフィールド内での明度差が非常に小さい前記照明装置、およびこの照明装置を備えた座標測定器を提供する。【解決手段】光導波路として光ファイバー束(4)が配置されている。デカップリング光学系(5)と照明光学系(17;20)の間に、光ファイバー束(4)から出た光の不均一な強度分布をイメージフィールドにおいて均一化させる均一化光学系(6)が配置されている。

請求項（抜粋）：

光源(1)と、光導波路と、光源(1)の光を光導波路の第1の端部にカップリングさせるカップリング光学系(3)と、光導波路の第2の端部から出る光をデカップリングさせるデカップリング光学系(5)と、デカップリング光学系(5)から出る光を受け入れてイメージフィールドを照射する照明光学系(17;20)とを有する照明装置において、a)光導波路として光ファイバー束(4)が配置されていること、b)デカップリング光学系(5)と照明光学系(17;20)の間に、光ファイバー束(4)から出た光の不均一な強度分布をイメージフィールドにおいて均一化させる均一化光学系(6)が配置されていること、を特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

G02B 19/00 , G01B 11/00 , G02B 27/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 19/00 , G01B 11/00 C , H01L 21/30 515 D , G02B 27/00 V

Fターム (28件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065BB27 , 2F065CC18 , 2F065FF55 , 2F065GG21 , 2F065HH03 , 2F065HH15 , 2F065HH17 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL46 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065UU01 , 2F065UU02 , 2F065UU07 , 2H052BA02 , 2H052BA09 , 2H052BA11 , 5F046CB01 , 5F046CB04 , 5F046CB12 , 5F046CB23

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平4-196280

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