特許

J-GLOBAL ID：200903022005982188

変位測定方法及びそれに用いる変位測定装置

発明者： 佐藤 健司
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-122716
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331314
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】 複数波長のレーザ光を発振可能な単一光源、集積化光学部品を用いて、判別可能な不連続変位の最大値の拡大を図るとともに、迅速・高精度・高安定な変位測定法、小形で耐振性の変位測定装置を提供。【構成】 発光電流の値により波長の異なる2種類以上のレーザ光を発振するレーザダイオード光源1と、結晶基板4に入力側偏光子5,レーザ光を参照光と照射光に分割する3dBカプラ6,位相変調用電極7a〜7c,位相変調器18等の光学要素を集積した光導波路型干渉系とを主要な部分とする。参照光の反射鏡9による反射光と照射光の被測定物12からの反射光を3dBカプラ6で干渉させ、干渉光を検出して被測定物の表面における微小部分の変位を測定する。

請求項（抜粋）：

同一光源のレーザ光を参照光と照射光とに分割して、前記参照光を参照光反射用鏡に、前記照射光を被測定物にそれぞれ照射し、光路の違いによって位相差の生じた前記参照光及び前記照射光のそれぞれの反射光を干渉させて、干渉光から前記被測定物の表面の微小変位を測定する変位測定方法において、発光電流の値によって波長の異なる2種類以上のレーザ光を発振するレーザダイオード光源に、階段波状に変調した前記発光電流を流して前記2種類以上の波長のレーザ光を交互に発振させ、結晶基板上に構成した3dBカプラで前記レーザ光を参照光と照射光とに分割し、前記参照光及び前記照射光の一方を、あるいは両方を、前記結晶基板上の光導波路を往復する間に、前記結晶基板上に構成した電気光学効果を利用する位相変調器によって位相変調せしめるとともに、位相変調された前記参照光と前記照射光を前記3dBカプラで干渉させることを特徴とする変位測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G02B 6/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-287105
  
• 特開昭61-240447
  
• 特開平4-331931