特許

J-GLOBAL ID：200903022015343426

モアレ格子ノイズ除去方法

発明者： 植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-093311
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294427
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【目的】 格子照射型のモアレ縞測定解析方法において、モアレ格子をy方向へ所定距離ずつ横ずらし移動させる毎に撮像した所定数のy方向位置別モアレ縞画像を平均化することにより、モアレ格子自体の不要な像によるノイズ成分を除去して、高精度なモアレ縞画像解析を行なえるようにする。【解決手段】 モアレ格子のy方向への移動距離をモアレ格子20の格子ピッチとの関係から設定しておき、撮像手段30の撮像倍率を撮像素子の画素ピッチと撮像素子上に結像された時の格子ピッチの大きさとの関係から設定しておく。モアレ格子20をy方向へ所定距離ずつ移動させる毎に撮像した所定数のy方向位置別モアレ縞画像を平均化して得られる平均化モアレ縞画像に基づき、被検面の形状情報を求める。

請求項（抜粋）：

光源と被検面との間に配置されたモアレ格子に、前記光源からの光を照射して前記被検面に投影された該モアレ格子の影と該モアレ格子とにより生じるモアレ縞を撮像手段により撮像して、前記被検面の形状解析を行なう格子照射型のモアレ縞測定解析方法において、前記モアレ格子の各格子線で形成される格子面内にあって該格子線と直交するy方向に、該モアレ格子を該y方向の初期位置から下式(1)の条件を満たす距離Lyずつ移動させると共に、該モアレ格子が前記初期位置にある時および前記距離Lyずつ移動される毎に、前記撮像手段の撮像素子の画素ピッチWと該撮像素子上に結像された時の該モアレ格子の格子ピッチpとが下式(2)の条件を満たすように撮像倍率を設定された該撮像手段により前記モアレ縞を撮像して、下式(3)の条件を満たすM枚のy方向位置別モアレ縞画像を得る第1の手順と、得られた該M枚のy方向位置別モアレ縞画像を平均化することにより平均化モアレ縞画像を得る第2の手順と、得られた該平均化モアレ縞画像に基づき、前記被検面の形状情報を求める第3の手順とを行なうことを特徴とするモアレ格子ノイズ除去方法。【数1】

IPC (2件)：

G01B 11/25 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 K

Fターム (21件)：

2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065DD04 ,  2F065EE05 ,  2F065FF08 ,  2F065GG02 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL06 ,  2F065LL41 ,  2F065PP03 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42