特許
J-GLOBAL ID：200903022018483466
異サイズのウェ-ハカセットを任意に支持可能な支持機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 武夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-106242
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297271
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造用のCVD装置でウェ-ハカセットを載置し支持する従来のキャリアステ-ジ組立体では、上下に複数段に配置されているキャリア受台上には複数個のキャリアシ-トが配置され、サイズが異なる2種のウェ-ハを処理する場合に備え、これらのキャリアシ-トを区分し、例えば右に第1のウェ-ハカセットを支持するカセット用ガイドを、左に第2のウェ-ハカセット用の支持ガイドを設けていたが、処理すべきウェ-ハカセット数は1:1でなく種々に変化するので、1つの段のキャリア受台上には使用されず空席のままのキャリアシ-トを残して次の段に移るなどの効率の低い作業が行われる欠点があったので、この種の欠点を改善することを目的とする。【構成】 それぞれのキャリアシ-ト上に第1と第2のウェ-ハカセットを支持する2種のカセット用の支持ガイドを併置し、作業計画に応じた比率で任意に第1と第2のウェ-ハカセットに配分すべきキャリアシ-トを選定し保持可能にした構成である。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置の一部として2種のウェ-ハを収容する2種のウェ-ハカセットを支持するためのキャリアステ-ジ組立体に設けられ、垂直な支持軸の周りに上下に複数段に配置されているキャリア受台と、このキャリア受台上に円周方向に等間隔に放射状に配置され前記2種のウェ-ハカセットを別個に支持するための複数個のキャリアシ-トと、これらのキャリアシ-トのそれぞれの上に設けられ前記ウェ-ハカセットを支持する支持ガイドとを含んで成る支持機構において、前記キャリアシ-トのそれぞれには前記2種のウェ-ハを収容する2種のウェ-ハカセットを支持するための2種の支持ガイドが配置され、それぞれのキャリアシ-ト上に前記2種のウェ-ハカセットを所定の順序で任意に配置し支持することが可能にされていることを特徴とする異サイズのウェ-ハカセットを任意に支持可能な支持機構。
IPC (2件)：
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