特許
J-GLOBAL ID：200903022023626135
ケース開閉装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224305
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053477
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 蓋部と底部とを合わせ、密閉した状態で、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を搬送、保管するためのケースに対し、窒素等の清浄な不活性ガスを導入できる、ケース開閉装置。【解決手段】 ケースをその上に載置し、ケースの蓋部と底部とのロック部120を有するステージ部110と、ステージ部に一体的に、ケースの底部の吸気口部131から窒素等の清浄な不活性ガスを供給するガス供給部130、ケースの底部の排気口部から排気を行うガス排出口部120を配設したガス供給部を備え、ガス供給部はガス供給源137、排気ガスの酸素濃度センサ135、不活性ガスの流れを制御する制御部とを備えている。
請求項（抜粋）：
蓋部と底部とを合わせ、密閉した状態で、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、搬送、保管するためのケースで、底部に、窒素等の清浄な不活性なガスを供給するための吸気口部、排気を行うための排気口部を備えたケースを、開閉する開閉装置であって、ケースをその上に載置し、ケースの蓋部と底部との開閉のロック、あるいはロックの解除を行う、ロック部を有するステージ部と、前記ステージ部に一体的に、ケースの底部の吸気口部から窒素等の清浄な不活性なガスを供給するガス供給口部、ケースの底部の排気口部から排気を行うガス排気口部を配設した、窒素等の清浄な不活性なガスを供給するガス供給部とを備えていることを特徴とするケース開閉装置。
Fターム (1件)：
引用特許：
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