特許

J-GLOBAL ID：200903022025851063

定盤修正用ドレッサーの洗浄装置

発明者： 平 田 和 彦
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082888
公開番号（公開出願番号）：特開平11-254294
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 平面研磨装置における定盤修正用ドレッサー6に付着した付着物を簡単且つ確実に洗い流すことができる洗浄装置を得る。【解決手段】 下面にドレッシング部材9を備えたドレッサー6を洗浄液に浸漬した状態で収容するための洗浄槽11の内部に、バブリング用のエアノズル15と、ドレッシング部材9に摺接する第1下面ブラシ18と、ドレッシング部材9以外の部分6aに摺接する第2下面ブラシ22a,22bとを設けると共に、ドレッサー6の外側面に接する側面ブラシ25を設ける。

請求項（抜粋）：

円形をなすドレッシングヘッドの下面に定盤の作業面を修正するためのドレッシング部材を取り付けたドレッサーを、洗浄液中に浸漬した状態で収容するための洗浄槽と、上記洗浄槽内に洗浄液を充填するための給液ノズルと、上記洗浄槽の内部に設けられた、洗浄液中にエアを噴出するためのエアノズルと、上記洗浄槽の内部に、上記ドレッサーの下面のドレッシング部材と摺接するように配設された少なくとも1つの第1下面ブラシと、上記洗浄槽に、ドレッサーの外周面に摺接するように横向きに配設された少なくとも1つの側面ブラシと、を有することを特徴とする定盤修正用ドレッサーの洗浄装置。

IPC (6件)：

B24B 37/00 ,  B08B 1/00 ,  B08B 3/00 ,  B08B 3/04 ,  B08B 5/02 ,  H01L 21/304 622

FI (6件)：

B24B 37/00 A ,  B08B 1/00 ,  B08B 3/00 ,  B08B 3/04 A ,  B08B 5/02 A ,  H01L 21/304 622 M