特許

J-GLOBAL ID：200903022030689100

微小ワークの加工装置

発明者： 畑村 洋太郎
出願人/特許権者： 畑村 洋太郎
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099545
公開番号（公開出願番号）：特開平7-308875
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】 微小ワークに3次元ビーム加工を行うことにより立体構造をもつ微小物の作製が可能な微小ワークのビーム加工装置を提供する。【構成】 加工室内にエネルギービームソースと、微小ワークの支持台と、該支持台を移動させる支持台移動機構とを設け、該支持台移動機構により微小ワークの支持台を直交2方向に移動するとともに、該エネルギービームソースからのビーム軸もしくはビーム束の中心軸に直交もしくは斜交する2以上の軸まわりに回転させ、当該ビームと微小ワークとの相対位置関係を予め変化させもしくは変化させながら、微小ワークの3次元ビーム加工をおこなう

請求項（抜粋）：

加工室と、該加工室内に設けられたエネルギービームソースと、該加工室内にて前記微小ワークを支持する台と、該支持台を加工室内で移動させる支持台移動機構とを備えた微小ワークの加工装置において、前記支持台移動機構が該微小ワークの支持台を直交2方向に移動可能かつ該エネルギービームソースからのビーム軸もしくはビーム束の中心軸に直交もしくは斜交する2以上の軸まわりに回転可能であり、当該ビームと微小ワークとの相対位置関係を予め変化させもしくは変化させながら、微小ワークの3次元ビーム加工をおこなうことを特徴とする微小ワークの加工装置。

IPC (2件)：

B25J 7/00 ,  B25J 19/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-060986
  
• 特開平2-262992
  
• 特開昭58-211847