特許

J-GLOBAL ID：200903022035463940

ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置

発明者： 番場 敏夫 ,  平野 孝
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-174707
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356475
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高感度で高残膜率のパターンを得ることができるポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置を提供する。【解決手段】 ポリアミド100重量部と(2)で示される感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物及びその樹脂組成物を用いて製作された半導体装置である。(式中、R3は水素原子、アルキル基、アルコキシ基)(式中O1、O2、O3、O4は水素原子又はを意味し、O1、O2、O3、O4の少なくとも1つは、を意味する。)

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド100重量部と一般式(2)又は/および一般式(3)で示される感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (6件)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/022 601 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (27件)：

2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA01 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA10 ,  2H096DA01 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J002CL071 ,  4J002EV246 ,  4J002FD200 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ05 ,  4J002HA05