超純水の比抵抗調整方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215932
公開番号（公開出願番号）：特開平7-060082
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】三層膜構造を有する中空糸膜を用いて、水溶液と接する多孔質層と反対側の多孔質層側に水圧より高い圧力で、炭酸ガスを酸素ガスを脱気した後の超純水へ給気し、超純水の比抵抗を調整する方法及び該方法を実施する装置に関する。

請求項（抜粋）：

均質層をその両側から多孔質層で挟み込んだ三層膜構造であって、均質層を構成する素材の炭酸ガス透過速度が1.0×10-5(cm3 (STP)/cm2 ・sec・cmHg)以上の性能を有する複合中空糸膜を用いて、水溶液と接する多孔質層と反対側の多孔質層側に水圧より高い圧力で、炭酸ガスを酸素ガスを脱気した後の超純水へ給気し、超純水の比抵抗を調整することを特徴とする超純水の比抵抗調整方法。

IPC (3件)：

B01D 69/08 , B01F 1/00 , C02F 1/20

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