特許
J-GLOBAL ID：200903022042343349
太陽電池モジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243391
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097482
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【構成】 透明基板上に透明導電膜、非晶質シリコン層、裏面電極の順に構成された太陽電池において、裏面電極側に保護層として酸化珪素層を好ましくは有機珪素ガスと酸素を用いた減圧プラズマ化学気相蒸着法を用いて形成することにより構成された太陽電池モジュ-ル。【効果】 本発明により、ガスバリヤ-性を有した酸化珪素層を裏面電極の保護層として形成することにより、基板の耐湿性、耐候性を向上させ、太陽電池モジュ-ルの長寿命化が図られ、また工程の大幅な簡略化が可能となり、生産性が大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
透明絶縁基板上に、透明導電膜、非晶質シリコン層、裏面電極を順次積層して形成された構造を持つ太陽電池モジュールにおいて、裏面電極形成後、ガスバリヤー性の酸化珪素層を形成せしめてなる太陽電池モジュール。
引用特許：
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