スパッタリング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木朗 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048475
公開番号（公開出願番号）：特開平5-247635
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】本発明はスパッタリング装置に関し、簡単且つ小型な構成でスパッタ金属の回り込みを防止可能としたスパッタリング装置を実現することを目的とする。【構成】真空チャンバー1の中に、スパッタ電源7に接続したターゲット8と、該ターゲット8の周囲に設けられたシールド筒9と、ウエハ18を載置するウエハステージ6とを具備して成るスパッタリング装置において、上記ウエハステージ6に載置されたウエハ18を囲むことができ、且つ上下に可動な可動シールド筒21を設けて成るように構成する。

請求項（抜粋）：

真空チャンバー(1)の中に、スパッタ電源(7)に接続したターゲット(8)と、該ターゲット(8)の周囲に設けられたシールド筒(9)と、ウエハ(18)を載置するウエハステージ(6)とを具備して成るスパッタリング装置において、上記ウエハステージ(6)に載置されたウエハ(18)を囲むことができ、且つ上下に可動な可動シールド筒(21)を設けて成ることを特徴とするスパッタリング装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭64-008268
特開平4-285160
特開昭64-008268

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