光学特性測定装置及び光学薄膜成膜装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大澤斌 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236076
出願日： 2001年02月08日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】被測定光学薄膜の光学系に対する位置調整が容易で、かつ被測定光学薄膜の変質、変形がなく、成膜中の光学薄膜であっても、随時、光学特性を正確にIn-situ測定できる光学特性測定装置を備えた光学薄膜成膜装置を提供する。【解決手段】本光学薄膜成膜装置10は、成膜源12を備え、光学薄膜を成膜する成膜チャンバ14と、隔壁18を介して成膜チャンバ14に隣接して設けられ、光学薄膜の光学特性を測定する光学特性測定装置22とを備える。光学薄膜測定装置は、光学特性の測定対象の被測定光学薄膜を載置させるステージ24と、光源26と、光照射手段28と、集光手段として設けられた積分球30と、積分球によって集光された光量を計測する分光光度計32と、分光光度計によって計測された光量に基づいて光学薄膜の光学特性を算出する算出装置34とを備える。ステージは、連通口38に設けられた回動軸40と共に水平面内を回動して、成膜チャンバと測定チャンバとの間を移動する。

請求項（抜粋）：

光学薄膜の光学特性を測定する装置であって、被測定光学薄膜を載置する測定ステージと、光源から出射された光を被測定光学薄膜に照射する光照射手段と、内周面に設けられた球面状の拡散反射面と、測定ステージ上に載置された被測定光学薄膜に対面する開口とを有する光学的部材を備え、光学薄膜から反射された反射光を開口を介して受け入れ、拡散反射面を介して集光する集光手段と、集光手段によって集光された光量を計測する光量計測手段と、光量計測手段によって計測された光量に基づいて光学薄膜の光学特性を算出する算出手段とを備えていることを特徴とする光学特性測定装置。

IPC (5件)：

G01M 11/00 , C23C 14/54 , C23C 16/52 , G01J 1/02 , G01N 21/45

FI (5件)：

G01M 11/00 T , C23C 14/54 E , C23C 16/52 , G01J 1/02 F , G01N 21/45 A

Fターム (38件)：

2G059AA02 , 2G059AA05 , 2G059BB10 , 2G059DD12 , 2G059EE02 , 2G059GG10 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ01 , 2G059JJ16 , 2G059JJ17 , 2G065AA04 , 2G065AB04 , 2G065AB05 , 2G065AB09 , 2G065AB22 , 2G065AB23 , 2G065AB27 , 2G065BA40 , 2G065BB02 , 2G065BB42 , 2G065CA27 , 2G065DA05 , 2G065DA08 , 2G086EE06 , 2G086EE12 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029BD09 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029EA00 , 4K029EA02 , 4K029HA03 , 4K030JA11 , 4K030KA39 , 4K030KA41 , 4K030LA11

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