特許

J-GLOBAL ID：200903022050422843

ナノクラスター計測装置及び太陽電池製造装置

発明者： 岩▲崎▼ 誠司 ,  出口 祥啓 ,  坂田 展康
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (2件)： 工藤 実 ,  中尾 圭策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-297627
公開番号（公開出願番号）：特開2005-069768
出願日： 2003年08月21日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】 プラズマ中のナノクラスタの特性を計測することができ、それに基づいて良好な太陽電池を製造することが可能なナノクラスター計測装置及び太陽電池製造装置を提供する。【解決手段】 レーザ2とレーザ調整部4+6と計測部12と制御部10とを具備するナノクラスター計測装置を用いる。レーザ2は、レーザ光を照射する。レーザ調整部4+6は、プラズマの所望の領域にそのレーザ光が照射されるように、そのレーザ光を調整する。計測部12は、そのプラズマに基づいて予め設定された一つ又は複数の波長範囲の各々において、そのレーザ光がその領域に照射されたときその領域の全部又は一部から発せられる発光の強度を計測する。制御部10は、その一つ又は複数の波長範囲の各々におけるその発光の強度に基づいて、その領域における粒子状物質の特性を求める。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レーザ光を照射するレーザと、 プラズマの所望の領域に前記レーザ光が照射されるように、前記レーザ光を調整するレーザ調整部と、 前記プラズマに基づいて予め設定された一つ又は複数の波長範囲の各々において、前記レーザ光が前記領域に照射されたとき前記領域の全部又は一部から発せられる発光の強度を計測する計測部と、 前記一つ又は複数の波長範囲の各々における前記発光の強度に基づいて、前記領域における粒子状物質の特性を求める制御部と を具備する ナノクラスター計測装置。

IPC (3件)：

G01N15/02 ,  G01N21/63 ,  H01L31/04

FI (3件)：

G01N15/02 A ,  G01N21/63 A ,  H01L31/04 V

Fターム (18件)：

2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043CA02 ,  2G043CA06 ,  2G043EA10 ,  2G043EA14 ,  2G043FA01 ,  2G043GA01 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043JA03 ,  2G043LA03 ,  5F051AA05 ,  5F051CA15 ,  5F051CA21 ,  5F051CA26 ,  5F051KA10