特許

J-GLOBAL ID：200903022053171418

長さ測定装置及び測定方法

発明者： 梅田 信行
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-216701
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063518
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 高さが不明な微小測定対象物の高さを高速・正確に測定し得る長さ測定装置及び長さ測定方法を提供する。【構成】 光切断法を用いて微小物体の長さを測定する長さ測定装置において、光軸に直交する断面形状が帯状若しくは線状である測定光を照射する照射手段Sと、測定対象物4及び測定光の照射位置の相対的な位置を、測定光の光像の長手方向に垂直な方向に移動させることにより、測定対象物4を含む測定領域で測定光を走査させる走査手段5と、測定領域からの測定光を受光し、所定時間の間蓄積して蓄積画像を形成する画像形成手段Iと、を備えて構成する。

請求項（抜粋）：

光軸に直交する断面形状が帯状若しくは線状である測定光を照射する照射手段(S)と、測定対象物(4)及び前記測定光の照射位置の相対的な位置を、前記測定光の光像の長手方向に垂直な方向に移動させることにより、前記測定対象物(4)を含む測定領域で前記測定光を走査させる走査手段(5)と、前記測定領域からの前記測定光を受光し、所定時間の間蓄積して蓄積画像を形成する画像形成手段(I)と、を備えたことを特徴とする長さ測定装置。