特許
J-GLOBAL ID：200903022053764664
グロー放電処理に供するパルスモードでの狭グロー放電制御方法及び処理温度制御方法及びその狭グロー放電処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡村 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210838
公開番号（公開出願番号）：特開2000-045061
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：
【要約】【課題】 パルスモードでの高いガス圧を用いて最適な狭グロー放電を得ること、処理温度の温度制御の自動化、ガス圧変動によるアーク放電への移行防止制御の自動化を図ること、パルスピーク電流値やパルス幅やパルス周波数などの放電処理パラメータの設定手順や相関関係を明確化すること。【解決手段】 処理対象物の材質の設定(S1)、窒化仕様の設定(S2)、処理物の大きさや形状の設定(S3)、重量、肉厚、処理表面積の設定(S4)、処理パラメータ設定(S5)については従来と同様に設定された後、予め設定されたパルス周波数特性に基づいてパルス周波数Fpを設定し(S6)、予め設定されたパルス周波数/パルス幅特性に基づいてパルス幅TWを設定する(S7)。そして、最終的に、予め設定されたガス圧/ピーク電流値特性に基づいてパルスピーク電流値Ipを設定する。
請求項（抜粋）：
グロー放電処理に供するパルスモードでの狭グロー放電制御方法において、パルスモードのパルスピーク電流値、パルス幅値、パルス周波数値のうち、パルスピーク電流値を、予め処理装置炉内のガス圧の大きさに対応させて設定した回路又はテーブル化したROMなどを用いたメモリ回路により設定し、該パルスピーク電流値を異常グロー放電領域で使用するとともに、該パルスピーク電流値の大きさをグロー放電処理中の前記ガス圧の変動に基づいて補正して変えるようにフィードバック制御するようにしたことを特徴とするグロー放電処理に供するパルスモードでの狭グロー放電制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
4K028BA02
, 4K028BA12
, 4K028BA21
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030BA24
, 4K030CA02
, 4K030DA03
, 4K030FA03
, 4K030JA06
, 4K030JA09
, 4K030JA13
, 4K030JA18
, 4K030KA05
, 4K030KA30
, 4K030KA41
