ウエハーのアラインメント

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉武賢次 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-566095
公開番号（公開出願番号）：特表2003-526910
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2003年09月09日
要約：

【要約】ウエハーターゲットの重心を決定する方法である。一実施形態では、本方法は、ステッパー中での1連のステップを含み、その最初のステップは、ターゲットセットが内部に形成されたウエハーを受け取るステップである。次に、そのターゲットセットと、ターゲットセット中のターゲット形状を分離する材料と、の上に信号を送る。すると、反射信号が、そのターゲット形状とそれを分離する材料の表面から反射されて受信される。この反射信号の少なくとも1つの極大ポイントの位置が、特定される。最後に、重心が、少なくとも1つの極大ポイントの位置の平均値として決定される。

請求項（抜粋）：

ウエハー中のターゲットの重心を決定する方法において、前記方法が:a)前記ウエハーを受け取るステップであり、前記ウエハー中には、前記ターゲットセットが形成されており、前記ターゲットセットは、材料によって分離されている複数のターゲット形状を含んでいる、ステップと;b)前記複数のターゲット形状と前記ターゲットセットの前記材料との上に信号を送るステップと;c)前記ターゲットセット内の前記複数のターゲット形状と前記複数のターゲット形状を分離する前記材料とから反射された反射信号を受信するステップと;d)前記ターゲットセット内の前記複数のターゲット形状を分離する前記材料から反射した前記反射信号の少なくとも1つの極値の各々の位置を特定するステップと;e)前記反射信号の前記少なくとも1つの極値から前記ターゲットセットの前記重心を決定するステップと;を含む方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 1/08 , G03F 7/22 , G03F 9/00

FI (5件)：

G03F 1/08 N , G03F 7/22 H , G03F 9/00 H , H01L 21/30 525 F , H01L 21/30 522 Z

Fターム (9件)：

2H095BA02 , 2H095BE03 , 2H095BE08 , 2H095BE09 , 5F046EA04 , 5F046EA11 , 5F046EB01 , 5F046ED01 , 5F046FA05

前のページに戻る