特許

J-GLOBAL ID：200903022058500070

露光装置

発明者： 竹内 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-202615
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036448
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 スループットを向上することができる露光装置を提供することである。【解決手段】 照明光学系により照明されたレチクルのパターンを、ウエハステージにより位置決めされるウエハホルダWHに保持されたウエハW上に転写するようにした露光装置において、ウエハホルダWHに、露光量検出用の蛍光体S1、照度分布検出用の蛍光体S2を設けた。投影光学系の投影領域における露光量及び照度分布は、照明光の照射による該蛍光体S1,S2の発光光の照度を光電センサなどにより計測することにより求める。

請求項（抜粋）：

照明光学系により照明されたマスクのパターンを、位置決め装置により位置決めされる基板ホルダに保持された感光基板上に転写するようにした露光装置において、前記基板ホルダに露光量検出用の蛍光体を設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 520 Z ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (17件)：

5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC05 ,  5F046CC10 ,  5F046CC11 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12 ,  5F046EB03 ,  5F046ED03 ,  5F046FA03 ,  5F046FA11