特許

J-GLOBAL ID：200903022058917957

インクジェットプリンタヘッド

発明者： 秋山 善一 ,  山中 邦裕
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-155522
公開番号（公開出願番号）：特開平11-348277
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】 インクジェットプリンタヘッドにおいて、基板のSi材料と鉛系圧電材料の反応を防止して、良好な圧電特性を得る。【解決手段】 単結晶Si基体1上に中間層2,下部電極層3,4,圧電体6,上部電極(層)7が積層されている圧電アクチュエータの下部電極を、Ir,酸化Ir,及びこの積層体のうちの1つを有するようにし、かつ、さらにその上層にPt,及び/またはPt-Rh合金膜を堆積して形成する。

請求項（抜粋）：

基体上に形成される圧電アクチュエータの下部電極であって、少なくとも下部電極層がIr,酸化Ir,及びこの積層体のうちの1つを有し、さらにその上層にPt,及び/またはPt-Rh合金膜が堆積されていることを特徴とする圧電アクチュエータ用下部電極。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 圧電体素子を備えたアクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド、並びにこれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-302792   出願人：セイコーエプソン株式会社