特許

J-GLOBAL ID：200903022066238104

ウエハ検査装置

発明者： 秋葉 徹 ,  藤池 光二郎 ,  楡井 辰夫 ,  茨木 秀文
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-137799
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349908
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】ウエハ検査装置においてマクロ検査が行われるウエハの全数につき容易にすばやくウエハ裏面の検査を行う事が出来るウエハ検査装置を提供することである。【構成】複数のウエハを保持したウエハ保持体から所望のウエハを取り出すとともに取り出されたウエハをウエハ保持体中の所望の位置に返却するウエハ取り出し/返却腕30と、ウエハ取り出し/返却腕により取り出されたウエハがマクロ検査の為に載置されるマクロテーブル32と、マクロテーブルのウエハの周縁部を保持し、ウエハの裏面を検査する為にウエハを裏返しまた元に戻すウエハ保持腕36a,36b、揺動腕40、及び揺動腕中心軸44と、を備えたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

複数のウエハを保持したウエハ保持体から所望のウエハを取り出すとともに、取り出されたウエハをウエハ保持体中の所望の位置に返却するウエハ搬送手段と;ウエハ搬送手段により取り出されたウエハがマクロ検査の為に載置されるウエハ載置手段と;ウエハ載置手段上のウエハの周縁部を保持し、ウエハの裏面を検査する為にウエハを裏返し、また元に戻すウエハ裏返し手段と;を備えたことを特徴とするウエハ検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-207942
  
• 特開平1-207942
  
• 特開平2-054152
  
• 特開平2-054152