特許

J-GLOBAL ID：200903022068426242

XAFS測定方法及びその装置

発明者： 田口 武慶
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269070
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089813
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 機構及び動作が簡単であり、全体の形状を小型に形成でき、しかも各要素の光学的な位置関係の調節が簡単にできるXAFS測定装置を提供する。【解決手段】 X線を放射するX線管5と、放射されたX線を平行X線ビームとして取り出す微細管プレートコリメータ1と、その平行X線ビームを受け取って特定波長すなわち特定エネルギの平行X線ビームを出射する平板結晶モノクロメータ11と、試料Sへ入射するX線強度値を測定する入射X線検出器13と、試料Sを透過したX線強度値を測定する透過X線検出器14と、平板結晶モノクロメータ11を支持すると共にそのモノクロメータのX線回折面を通るθ回転軸線ωを中心としてθ回転するθ回転台9と、入射X線検出器13及び透過X線検出器14を支持すると共にθ回転軸線ωを中心として2θ回転する2θ回転アーム16とを有するXAFS測定装置である。

請求項（抜粋）：

試料に入射するX線のエネルギを変化させたときに得られる質量吸収係数の振動構造を測定するXAFS測定方法において、X線源から放射されたX線をコリメータによって平行X線ビームに成形し、その平行X線ビームを平板結晶モノクロメータへ照射してその平板結晶モノクロメータから特定波長の平行X線ビームを取り出し、取り出した平行X線ビームに関して試料に入射する前のX線強度値及び試料を透過した後のX線強度値を測定し、平板結晶モノクロメータへの平行X線ビームの入射角度を変化させることにより試料へ入射するX線のエネルギを変化させることを特徴とするXAFS測定方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-277745
  
• 特開平2-291993
  
• 特開昭62-039747
  
• 特開昭63-187144