クリーンルーム

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-305699
公開番号（公開出願番号）：特開2002-115879
出願日： 2000年10月05日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】室内における化学物質が極限まで抑制されたクリーンルームを提供する。【解決手段】測定室Aと空調システムBとを備えたクリーンルームであり、空調システムBに、ケミカルフィルタを備えた外気処理ユニット11と循環空気処理ユニット35とを設けた。外気処理ユニット11は外気の導入口に設けられており、循環空気処理ユニット35は外気処理ユニット11から導入された外気と測定室Aの内部から取り出した空気とを測定室Aに供給する送風路部分に設けられている。外気処理ユニット11と循環空気処理ユニット35との間に、外気処理ユニット11から導入された外気及び測定室Aの内部から取り出した空気を温度及び湿度を調節する空調ユニット21を設けた。また、測定室A、送風路、及びこの送風路に設けられた設備の露出表面をステンレスで構成した。

請求項（抜粋）：

測定室と、当該測定室内の空気調和を行うための空調システムとを備えたクリーンルームであって、前記空調システムは、ケミカルフィルタを備え、外気の導入口に設けられた外気処理ユニットと、ケミカルフィルタを備え、前記外気処理ユニットから導入された外気と前記測定室の内部から取り出した空気とを当該測定室に供給する送風路部分に設けられた循環空気処理ユニットとを有していることを特徴とするクリーンルーム。

Fターム (4件)：

3L058BE02 , 3L058BF00 , 3L058BF05 , 3L058BG03

引用特許：

審査官引用 (3件)

クリーンルーム用空調機
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-210404 出願人：日立プラント建設株式会社
空気清浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-104399 出願人：清水建設株式会社
空気調和手段及び空気調和装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-311706 出願人：日産自動車株式会社

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