特許

J-GLOBAL ID：200903022072962531

光ディスク並びにその製造装置および製造方法

発明者： 千賀 達也 ,  古田 正寛
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-356854
公開番号（公開出願番号）：特開平11-185308
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 溝の深さを深くした場合でも、ランド部およびグルーブ部に対し略同じレーザパワーの光を用いて情報の記録・消去が行えるランド・グルーブ記録方式の光ディスク、並びに、そのような光ディスクの製造装置および製造方法を提供すること。【解決手段】 スパッタリング法を用い、光ディスクの基板22上に薄膜を形成する光ディスクの製造装置10であって、ターゲット24を保持するターゲットホルダ14と、基板22を保持する基板ホルダ12と、ターゲットホルダ14に保持されたターゲット24の周囲を覆い基板ホルダ12側に開口部15aを有する筒状のフード15とを備える。

請求項（抜粋）：

スパッタリング法を用い、光ディスクの基板上に薄膜を形成する光ディスクの製造装置であって、ターゲットを保持するターゲットホルダと、前記基板を保持する基板ホルダと、前記ターゲットホルダに保持されたターゲットの周囲を覆い前記基板ホルダ側に開口部を有する筒状のフードとを備えたことを特徴とする光ディスクの製造装置。

IPC (7件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/50 ,  G11B 11/10 506 ,  G11B 11/10 511 ,  G11B 11/10 541 ,  G11B 11/10

FI (7件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/34 C ,  C23C 14/50 G ,  G11B 11/10 506 Q ,  G11B 11/10 511 C ,  G11B 11/10 541 A ,  G11B 11/10 541 H