特許

J-GLOBAL ID：200903022074664104

走査型近接場顕微鏡

発明者： 小灘 毅
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146518
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338118
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】高いS/N比で試料を高分解能に測定することが可能な走査型近接場顕微鏡を提供する。【解決手段】光源8からの光を所定の偏光状態にする偏光手段10と、この偏光手段10を経由した光を試料3表面に入射させる入射手段9と、光が入射する試料3表面に近接して先端部2が位置したプローブ1と、このプローブ1の先端部2で散乱した散乱光を集光する集光手段11と、この集光手段11で集光された光の異なる2方向の偏光成分について、振幅の差分を検出する差分手段とを備えている。差分手段は、プローブ1の先端部2で散乱した散乱光のP偏光成分とS偏光成分との間に位相差を与える位相差手段18と、位相差が与えられた偏光成分同士を干渉させる干渉手段19とを備えている。

請求項（抜粋）：

プローブを試料表面と相対的に移動させることで走査する走査型近接場顕微鏡であり、光源からの光を所定の偏光状態にする偏光手段と、上記偏光手段を経由した上記光源からの光を、試料表面に入射させる入射手段と、上記光が入射する試料表面に近接して先端部が位置したプローブと、上記プローブの先端部で散乱した光を集光する集光手段と、上記集光手段で集光された光の異なる2方向の偏光成分について、振幅の差分を検出する差分手段とを具備することを特徴とする走査型近接場顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z

Fターム (17件)：

2F065AA50 ,  2F065BB13 ,  2F065DD04 ,  2F065FF00 ,  2F065FF41 ,  2F065FF49 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065LL53 ,  2F065QQ13 ,  2F065SS13