特許

J-GLOBAL ID：200903022076683955

電子顕微鏡

発明者： 四辻 貴文 ,  小林 弘幸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007352
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215720
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】電子顕微鏡において従来手作業で行っていた試料の検索を、CPUを用いて試料台の移動を自動化し、試料の検索効率の高い電子顕微鏡を提供することにある。【構成】試料5を装着した試料台4を透過電子線像の倍率に連動した移動量で、X軸,Y軸の2方向に自動的に移動させる。試料台4の移動範囲,移動速度,加減速時間等の駆動の条件を、条件表示CRT19に表示し、操作部18で駆動の条件を設定することで、指定範囲内の試料5の検索を行えるように構成する。【効果】従来手作業で行っていた試料の検索を自動化することで、短時間で効率良く試料の検索が可能となり、電子顕微鏡の操作性が飛躍的に向上する。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡において、試料を装着した試料台をX軸,Y軸の2方向に移動させる駆動の手段と、前記試料の座標位置、および前記試料台の駆動の条件、および前記試料の観察条件を表示する第1の表示装置と、前記駆動の条件を前記第1の表示装置を用いて選択、または設定する手段と、電子顕微鏡像を表示する第2の表示装置を有し、前記第2の表示装置を用いて前記試料台を電子顕微鏡像の倍率に連動した移動量で自動的に移動させる手段とを具備していることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/20