特許

J-GLOBAL ID：200903022079291756

超音波洗浄方法およびその洗浄装置

発明者： 阿座上 瑞美 ,  菊池 廣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043859
公開番号（公開出願番号）：特開平6-320124
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】 超音波による洗浄力自体を向上した超音波洗浄方法および装置を提供する。【構成】 被洗浄物を、洗浄槽2内の洗浄液1中に浸漬させ、洗浄槽2の洗浄液1を、循環ポンプ4により循環させる。エアポンプ6を駆動させて、循環洗浄液管8内にある洗浄液中に空気を注入して気泡を混入させると共に、気泡細分化器9で細分化する。洗浄槽2では、超音波発振器3が駆動されて、周波数1MHzの超音波振動が洗浄液に加えられる。洗浄液1中の気泡がこの超音波振動により強制振動されて、運動する。この時、気泡が被洗浄物の表面に存在すると、この運動する気泡が表面を擦ることにより、その表面に付着している汚れが擦り落される。

請求項（抜粋）：

洗浄液中に、超音波振動により運動し得る大きさの気泡を存在させ、この状態の洗浄液に超音波振動を加えて洗浄を行なうことを特徴とする超音波洗浄方法。