特許

J-GLOBAL ID：200903022083402287

光学的膜物性測定用媒体、光学的膜物性測定方法および光学的媒体製造装置

発明者： 田代 浩子 ,  木下 幹夫 ,  出口 浩司
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031968
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231746
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】 エリプソメトリなどの偏光解析技術を用いる場合に、製造ラインの停止を伴うことなく、複屈折を有する基板を用いて効率良く光記録媒体の膜物性を測定することができる光学的膜物性測定用媒体、光学的膜物性測定方法および光学的媒体製造装置を提供すること。【解決手段】 光ディスク試料製造モードの場合には、光ディスク製造モードの場合と表裏逆向きに基板投入/取出口102に対して光ディスク基板101を投入すると、基板搬送機構105が、この光ディスク基板101をカソード110に搬送して該光ディスク基板上101に反射層を形成し、その後、この光ディスク基板101をカソード106に搬送して被測定薄膜を積層した光ディスク試料を製造する。

請求項（抜粋）：

光記録媒体の基板上に形成される各層の膜物性を偏光解析により測定する際に用いる光学的膜物性測定用媒体であって、前記基板の光学的鏡面側に非透光性の反射層を形成し、この反射層上に単膜又は積層構造の被測定薄膜を形成した構造を有することを特徴とする光学的膜物性測定用媒体。

IPC (2件)：

G11B 7/26 ,  G01B 11/06

FI (2件)：

G11B 7/26 ,  G01B 11/06 G

Fターム (10件)：

2F065AA30 ,  2F065BB16 ,  2F065CC03 ,  2F065CC31 ,  2F065DD00 ,  2F065FF49 ,  5D121AA02 ,  5D121AA05 ,  5D121BA10 ,  5D121HH11