表面検査装置

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-375029
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162146
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】板、条およびディスク基板等の被検査対象物の表面に存在する傷を、その種類に関わらず確実に認識できる画像を撮像できるとともに、ディスク基板を停止させることなく検査することが可能な検査装置、およびアルミディスクのヘヤライン方向にかかわらず、傷の有無を判定することができる表面検査システムを提供する。【解決手段】被検査対象物の表面を照明手段により照明し、前記表面からの反射光を撮像手段で撮像し、その撮像手段から出力される画像を画像処理装置で演算処理して前記表面の欠陥を検査する表面検査装置において、前記照明手段として異なる投射方向から照明する複数の光源を設け、これらの光源を切り換えながら点灯して1台のラインセンサカメラでもって複数の異なる画像を形成し、これらを画像処理することによって被検査対象物の表面の検査を行う。

請求項（抜粋）：

被検査対象物の表面を照明手段により照明し、前記表面からの反射光を撮像手段で撮像し、該撮像手段から出力される画像を画像処理装置で演算処理して前記表面欠陥を検査する表面検査装置であって、前記照明手段として異なる位置から投射する複数の光源を設け、前記撮像手段として1台のラインセンサカメラを設けるとともに、前記ラインセンサカメラのスキャンごとに前記複数の光源を切り換えることにより1台のラインセンサカメラで複数の異なる画像を得ることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01N 21/84

FI (3件)：

G01N 21/88 630 A , G01N 21/88 J , G01N 21/84 E

Fターム (13件)：

2G051AA71 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BB05 , 2G051BB20 , 2G051BC01 , 2G051CA03 , 2G051CA06 , 2G051CA07 , 2G051DA06 , 2G051EB01 , 2G051EC01

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭62-042039
特開昭62-042039
特開平2-082141

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