アリールトリフレート化合物、放射線酸発生剤、放射線酸発生剤系及び感放射線組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150549
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181265
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】放射線酸発生剤として好適なアリールトリフレート化合物およびこれを用いた感放射線組成物を提供する。【構成】一般式(I)又は(II)で示されるアリールトリフレート化合物、【化1】(式中Xはアルコキシカルボニル基等、Yは水素原子等、lは1〜5の整数、mは1〜5の整数、nは0又は1〜4の整数であり、l+m+nは6とされる)【化2】(式中Rは炭素数1〜22のアルキル基等、Zは水素原子等、qは1〜4の整数、pは0または1〜3の整数であり、p+qは4とされる)、この化合物を含む感放射線組成物等

請求項（抜粋）：

一般式(I)又は(II)で示されるアリールトリフレート化合物。【化1】(式中Xはアルコキシカルボニル基、シアノ基、ニトロ基又はトリフルオロメチル基であり、Yは水素原子、ハロゲン原子、直鎖状又は枝分かれしたアルキル基、アラルキル基又は置換若しくは非置換のフェニル基であり、lは1〜5の整数であり、mは1〜5の整数であり、かつnは0又は1〜4の整数であり、l、mおよびnはl+m+nが6となるように選ばれる)【化2】(式中Rは炭素数1〜22の直鎖状又は枝分かれしたアルキル基、炭素数7〜22のアラルキル基又は置換若しくは非置換のフェニル基であり、Zは水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基であり、qは1〜4の整数であり、pは0または1〜3の整数であり、pおよびqはp+qが4となるように選ばれる)

IPC (7件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 515 , G03F 7/00 501 , G03F 7/029 , G03H 1/02 , H01L 21/027 , H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-089459
特開平2-286654
特開平2-193972

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