特許

J-GLOBAL ID：200903022097877784

板状部材の洗浄装置

発明者： 永田 徹三
出願人/特許権者： 第一施設工業株式会社 ,  永田 徹三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142502
公開番号（公開出願番号）：特開2000-328265
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】塵や傷を発生させることがなく、生産性の高い板状部材の洗浄装置を提供しようとするものである。【解決手段】本発明の板状部材の洗浄装置は圧力液体の送り込まれる圧力容器1の上部に平面部を有する多孔質体2を平面部が上を向くように取り付け、多孔質体2を通して洗浄圧力液体が噴き出されるようにしたるようにした。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの平面部を有する多孔質体を設け、圧力液体の送り込まれる圧力容器の上部に前記多孔質体を前記平面部が上を向くように取り付け、前記多孔質体を通して圧力液体が噴き出されるようにした板状部材の洗浄装置。

IPC (3件)：

C23F 1/08 101 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/304 643

FI (3件)：

C23F 1/08 101 ,  B08B 3/02 C ,  H01L 21/304 643 C

Fターム (11件)：

3B201AA02 ,  3B201AB01 ,  3B201BB24 ,  3B201BB33 ,  3B201BB93 ,  3B201CB01 ,  4K057WA01 ,  4K057WM01 ,  4K057WM04 ,  4K057WM06 ,  4K057WM20