特許
J-GLOBAL ID：200903022098828299
ブラスト研削方法、およびそれを用いたガス放電パネルの隔壁形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200615
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050764
出願日： 1995年08月07日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：
【要約】【課題】 被研削部材をマスクで覆い、被研削部材に微粒子を噴射してマスクの開口部に応じた溝を形成するブラスト研削において、研削途中の溝の中に、研削微粒子と厚膜層が研削されて発生した粉とが静電気によって残存することを防止し、これに起因したブラスト研削不良を無くす。【解決手段】 被研削部材(厚膜層4bと基板3)に、アースまたは電源に接続した導電性部材(導電性の板または膜6)を接続し、ブラスト研削中に被研削部材に発生した電荷を排出除去するようにしたブラスト研削方法。
請求項（抜粋）：
被研削部材をマスクで覆い、該被研削部材に微粒子を噴射して研削し該マスクの開口部に応じた溝を形成するに際し、該被研削部材に電荷リーク手段を接続し、研削中に被研削部材に発生した電荷を排出除去するようにしたことを特徴とするブラスト研削方法。
IPC (3件)：
H01J 9/24
, B24C 1/04
, H01J 9/02
H01J 9/24 B
, B24C 1/04 F
, H01J 9/02 F
