光学式三次元形状計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027269
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218232
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】広い範囲の表面領域について迅速且つ高精度に形状測定することが可能な光学式三次元形状計測装置を提供すること。【構成】本発明の光学式三次元形状計測装置は、被検物の表面に所定のパターン像を投影するための照射光学系と、前記被検物の表面に投影されたパターン像を観察するための観察光学系とを備え、前記観察されたパターン像の変化に基づいて前記被検物の表面形状を計測する光学式三次元形状計測装置において、前記照射光学系は、その光軸に沿って複数の合焦面にそれぞれ前記所定のパターン像を形成するための合焦面分割手段を備えている。

請求項（抜粋）：

被検物の表面に所定のパターン像を投影するための照射光学系と、前記被検物の表面に投影されたパターン像を観察するための観察光学系とを備え、前記観察されたパターン像の変化に基づいて前記被検物の表面形状を計測する光学式三次元形状計測装置において、前記照射光学系は、その光軸に沿って複数の合焦面にそれぞれ前記所定のパターン像を形成するための合焦面分割手段を備えていることを特徴とする光学式三次元形状計測装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G01C 3/06 , G06T 7/00 , G06T 1/00

FI (2件)：

G06F 15/62 415 , G06F 15/64 M

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