特許
J-GLOBAL ID：200903022100531720
微細電子機械変換器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-511848
公開番号（公開出願番号）：特表2008-546239
出願日： 2006年05月18日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
微細電子機械変換器(cMUTなど)が開示されている。この変換器は、基板と、上面プレートと、それらの間にある弾性構造体とを有する。この弾性構造体は、分散された支持体を有する上面プレートを垂直方向に移送するための、デバイス素子領域一面に分散された複数のコネクタを有する。その弾性構造体は、基板上の空洞を覆う中間バネ層を利用して形成された片持ち梁であり得る。コネクタは、上面プレートの下に変換空間を画定する。弾性構造体は、ピストン状の運動によって上面プレートを移送して、変換空間を変化させ、かつエネルギー変換を引き起こす、コネクタの垂直方向の変位を可能にする。各アドレス可能な変換器素子に関して個別のセルは必要無い。複数のデバイス素子は、同一の基板上に作られることができる。
請求項（抜粋）：
エネルギーを変換するために可動機械部品を有する微細電子機械変換器であって、該変換器は、デバイス素子領域を画定するデバイス素子境界線を有するアドレス可能なデバイス素子を含み、前記アドレス可能なデバイス素子は、
基板と、
前記基板の上方に配置された上面プレート(板)層と、
前記基板と前記上面プレート層との間にある弾性構造体とを含み、
(a)前記弾性構造体は、前記基板に接続する下部と前記上面プレート層に接続する上部とを有し、
(b)前記弾性構造体の前記上部は、前記上面プレート層に接続する複数のコネクタ(接続部材)を有し、
(c)前記複数のコネクタは、前記デバイス素子領域一面に分散されており、かつ前記デバイス素子領域の内側領域に向かって前記デバイス素子境界線から実質的に離間して配置された少なくとも1つのコネクタを有し、
(d)前記上面プレート層および前記コネクタは、前記上面プレート層の下に変換空間を画定し、
(e)前記アドレス可能なデバイス素子は、エネルギー変換を引き起こす少なくとも1つの変換部材を有し、かつ
(f)前記弾性構造体は、実質的に垂直方向に前記上面プレート層へ移送する前記複数のコネクタの垂直方向変位を可能にし、ひいては前記変換空間を変化させ、かつ前記変換部材を作動させることを特徴とする微細電子機械変換器。
IPC (4件)：
H04R 19/00
, H01L 29/84
, H04R 17/00
, H04R 15/00
H04R19/00 330
, H01L29/84 J
, H04R17/00 332B
, H04R15/00 330
4M112AA06
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA04
, 4M112CA06
, 4M112CA11
, 4M112FA20
, 5D019BB01
, 5D019CC01
, 5D019DD01
出願人引用 (3件)
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米国特許第6,632,178号明細書
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米国特許第6,958,255号明細書
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米国特許第7,030,536号明細書
審査官引用 (1件)
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