微小光導波路分光特性評価装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-143350
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292707
出願日： 2006年04月21日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】微小光導波路分光特性評価装置において、光源からの光を光ファイバで試料に導入するときの光ファイバと試料との結合効率を向上することによって、試料からの出力光の強度を増大する。また、測定波長範囲を拡大するためには光源に波長可変レーザに代えて白色光源を用いることが有力な手段であるが、これによって生じる光強度の大幅な低下および試料のセッティング作業の困難という課題を克服する。【解決手段】測定試料と光源との光結合に、レンズ状に加工研磨した先球を先端部に有する先球加工光ファイバを用いる微小光導波路分光特性評価装置において、前記先球加工光ファイバの前記先球の曲率が約5μmから約15μmの範囲内の値を有し、より好ましくは、前記先球加工光ファイバの前記先球の曲率が約10μmである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

測定試料と光源との光結合に、レンズ状に加工研磨した球面を先端部に有する先球加工光ファイバを用いる測定装置において、前記先球加工光ファイバの前記先球の曲率が約5μmから約15μmの範囲内の値を有している、微小光導波路分光特性評価装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 , G01N 21/01 , G02B 6/12

FI (3件)：

G01M11/00 T , G01N21/01 Z , G02B6/12 Z

Fターム (12件)：

2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE12 , 2G059GG01 , 2G059HH02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059KK01 , 2G086EE12 , 2H147BF00 , 2H147FD19

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