光ディスク用のスタンパーおよびその作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-175678
公開番号（公開出願番号）：特開平10-008248
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】【課題】表面削除工程を経なくても、成形時の光ディスクとの離型性が良好なスタンパーおよびその作製方法を提供する。【解決手段】真空容器30内において、イオン源46から引き出したイオンビーム48によってニッケルターゲット36をスパッタして、スタンパーの元になる原盤10の表面にニッケル膜を形成する。

請求項（抜粋）：

基板の表面に樹脂を主成分とするレジスト膜を設け、かつこのレジスト膜にピットまたは溝を形成して成る原盤の表面にニッケル膜を形成して、光ディスク用のスタンパーを作製する方法において、真空雰囲気中でイオンビームによってニッケルターゲットをスパッタすることによって、前記原盤の表面にニッケル膜を形成することを特徴とする光ディスク用のスタンパーの作製方法。

IPC (2件)：

C23C 14/46 , G11B 7/26 511

FI (3件)：

C23C 14/46 B , C23C 14/46 Z , G11B 7/26 511

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